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3D共聚焦顯微鏡

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久草在线福利名稱: 3D共聚焦顯微鏡
久草在线福利型號: OLS5000 3D测量激光显微镜
久草在线福利展商: 奧林巴斯
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簡單介紹

奧林巴斯LEXT OLS5000 激光扫描共聚焦显微镜,使得非接触式、3D 测量和观察变得更容易。只要按下启动按钮,用户就可以对微米、亚微米级别的精细形状进行测量。易用性与先进性相结合,使得采集速度比之前的模式快了四倍。Z 轴方向从毫米到纳米,通常几秒钟即可得到高清可靠的图像。对于较大的样品的客户,LEXT 长工作距离物镜和扩展架允许系统容纳*高达210 毫米的样品。


3D共聚焦顯微鏡  的詳細介紹

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光學系統(彩色成像光學系統和激光共焦光學系統)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值:

  • 捕捉任意表面形狀。
  • 快速獲得可靠數據。
  • 使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。
  • 測量具有挑戰性的樣品。

价值1:捕捉任意表面形狀。

 

OLS5000顯微鏡的先進技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數據

該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,*終實現生産力的提升。

價值3、使用簡單,只需放置樣品並按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而無需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

價值4、可測量具有挑戰性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物台上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

[405納米激光光源]

光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得卓越的橫向分辨率。

[激光共焦光學系統]

激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,並非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000显微镜配有奧林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。

[高度測量原理]

在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。

根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),並獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。


主機規格:

型號 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
總倍率 54x - 17,280x
視場直徑 16 μm - 5,120 μm
測量原理 光學系統 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
彩色
彩色DIC
光接收元件 激光:光電倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相机
高度測量 顯示分辨率 0.5 纳米
動態範圍 16 位
可重复性 n-1 *1 *2 *6 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
精度 *1 *3 *6 测量值 +/- 1.5%
拼接图像精度 *1 *4 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6 1 纳米
寬度測量 顯示分辨率 1 纳米
可重复性 3 n-1 *1 *6 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
精度 *1 *3 *6 测量值 +/- 1.5%
拼接图像精度 *1 *3 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
單次測量時測量點的*大數量 4096 x 4096 像素
測量點的*大數量 3600 万像素
XY 载物台配置 長度測量模塊 ? ?
工作範圍 100 x 100 mm 电动

100 x 100 mm 手动

300 x 300 mm 电动 100 x 100 mm 电动 100 x 100 mm 手动
*大樣品高度 100 mm 30 mm 30 mm 210 mm 140 mm
激光光源 波長 405 nm  
*大輸出 0.95 mW  
激光分類 2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)  
彩色光源 白光 LED
電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
質量 顯微鏡主體 约 31 公斤 约 30 公斤 约 50 公斤 约 43 公斤 约 39 公斤
控制器 约 12 公斤



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